天津中環(huán) RTP-滑動式快速退火爐
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摘要
采用紅外燈管加熱，通過滑動爐體實現(xiàn)快速升降溫。應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米技術(shù)、碳纖維、石墨烯生長等新型材料工藝領(lǐng)域。
產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品應(yīng)用：
該系列電爐采用紅外燈管加熱，通過滑動爐體實現(xiàn)快速升降溫。應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米技術(shù)、碳纖維、石墨烯生長等新型材料工藝領(lǐng)域。
也同樣適用于要求升降溫速度比較快的氣氛燒結(jié)、真空淬火退火及CVD等工藝實驗。
產(chǎn)品特點：
氣路快速連接法蘭結(jié)構(gòu)采用本公司獨有的知識產(chǎn)權(quán)專利設(shè)計,提高操作便捷性；爐體自帶超溫保護及漏電保護功能；
合理的氣路支架裝置，避免了氣路總成因自身應(yīng)力而造成的爐管損壞；爐體移動自動化且有滑動限位功能，避免爐體碰撞;風(fēng)冷設(shè)計，使樣品實現(xiàn)快速降溫。
產(chǎn)品名稱
RTP系列-滑動式快速退火爐
產(chǎn)品型號
RTP-G06123K-H
額定功率
9KW
額定電壓
220AC 50/60Hz
溫度
1000℃
連續(xù)工作
950℃(<1 小時)
加熱區(qū)長度
250mm
恒溫區(qū)長度
200mm
加熱元件
紅外燈管
溫度控制
國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編程50段程序控溫；
控制精度
±1℃
石英管尺寸
Φ60/Φ80/Φ100mm
爐管材質(zhì)
石英管
滑動距離
300mm
降溫速度
900~200℃的降溫速度:15min
升溫速度
50oC/S
滑動控制
由溫度控制器自動控制爐體移動. 當程序完成，爐體按設(shè)定的速度滑動。
流量計
浮子流量計60-600ml/min
滑軌尺寸
360 x1300x265mm
外形尺寸
360x385x595mm
重量
85Kg
標準配置
氣路總成一套（含真空壓力表）石英管一支、石英堵三個、鉤子一把、高溫手套一副。
